MikroElektroMekanik Sistemler (MEMS) veya Mikrosistem Teknolojiler, hızla büyüyen ve gelişen teknolojiler olmanın yanında, mikroelektronik teknolojiler gibi gelecekteki hayatımıza şekil verecek potansiyele sahiptir. MEMS teknolojilerinin hayata geçirilmesi ile, mikrossistemlerin büyüklüğü ve maliyeti ciddi anlamda azalırken, monolitik entegresyon ile mikroelektronik devrelerin ve mekanik yapıların aynı çip üzerinde entegre edilmesi sağlanmaktadır.

MEMS Teknolojilerinin otomotive (hava yastıkları için ivmeölçerler, devrilme algılama sistemleri, vb), biyomedikal (görme/işitme araçları, akıllı ilaç temini sistemleri, vücut sıvıları analizi, mikrocerrahi araçları, kalp cihazları, vb), telekomünikasyon (akıllı antenler, fiber optic anahtarlama için mikroaynalar), beyaz eşya teknolojileri (su seviyesi algılaması için basınç sensörleri, buzdolapları için buzlanma sensörleri), elektronik tüketici uygulamaları (DLP projeksiyon cihazları, cep telefonları) ve savunma/güvenlik uygulamaları (düşük maliyetli gece görüntüleme, akıllı cephane uygulamaları, ev güvenlik sistemleri) ve benzer alanlarda uygulamaları bulunmaktadır.

Geçen yıllar içerisinde, mikroelektronik teknolojilerin günlük hayatımızı ne derece değiştirdiğine hepimiz tanık olduk. Aynı şekilde, düşük maliyetli, az güç gerektiren ve küçük sensörlere olan ihtiyaç arttıkça, MEMS teknolojilerinin de önümüzdeki yıllar için aynı etkiyi yaratacağına inanıyoruz. Ayrıca, MEMS teknolojilerinin, nanoteknolojinin günlük hayatımızdaki kullanımını artırması, bu arada nenoteknolojideki gelişmelerin de MEMS ürünlerindeki performans ve uygulama alanlarını artırması beklenmektedir.